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晶圓烤膠機(jī)(又稱光刻膠烘烤機(jī)、熱板烤膠機(jī))的核心功能是對(duì)涂覆光刻膠的晶圓進(jìn)行準(zhǔn)確溫度烘烤，實(shí)現(xiàn)光刻膠溶劑蒸發(fā)、固化交聯(lián)與應(yīng)力釋放，本質(zhì)是一款“專為光刻工藝設(shè)計(jì)、高精度溫控的晶圓熱處理設(shè)備”。其核心作用圍繞“光刻膠優(yōu)化、工藝穩(wěn)定性保障、圖形精度支撐”展開，貫穿光刻流程關(guān)鍵環(huán)節(jié)。多階...
紅外線加熱板是封閉電爐和普通電熱板的替代品。采用全不銹鋼機(jī)身，不會(huì)輕易氧化，同時(shí)也有很好的防腐性，延長(zhǎng)了整機(jī)的使用壽命。紅外線加熱板是利用物體對(duì)光的吸收。紅外線的傳熱形式是輻射傳熱，由電磁波傳遞能量。在遠(yuǎn)紅外線照射到被加熱的物體時(shí)，一部分射線被反射回來，一部分被穿透過去。當(dāng)發(fā)射的遠(yuǎn)紅外線波長(zhǎng)和被加熱物體的吸收波長(zhǎng)一致時(shí)，被加熱的物體吸收遠(yuǎn)紅外線，這時(shí)，物體內(nèi)部分子和原子發(fā)生“共振”——產(chǎn)生強(qiáng)烈的振動(dòng)、旋轉(zhuǎn)，而振動(dòng)和旋轉(zhuǎn)使物體溫度升高，達(dá)到了加熱的目的。該產(chǎn)品是一種輻射性加熱器...
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